Máy Đo Quang Phổ Vi Điểm Wafer Bán Dẫn FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ WAFER

1. Giới thiệu tổng quan FISCHERSCOPE XDV-µ WAFER

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV-µ® WAFER là dòng máy đo quang phổ vi điểm tự động hoàn toàn được thiết kế chuẩn phòng sạch (Cleanroom Class 100 / ISO Class 5), chuyên phục vụ kiểm tra màng mỏng kim loại và cấu trúc vi mạch trên đĩa bán dẫn Wafer kích thước lên đến 300 mm (12 inch).

2. Tính năng công nghệ nổi bật

• Tương thích đĩa Wafer kích thước 6, 8 và 12 inch (300 mm): Bàn hút chân không tích hợp gá kẹp đĩa wafer tự động đảm bảo an toàn tuyệt đối cho bề mặt bán dẫn.
• Hệ quang học hội tụ Polycapillary vi điểm cực nhỏ: Điểm đo chỉ 10 ~ 20 µm giúp phân tích độ dày màng kim loại (Au, Cu, Ni, SnAg, TiW, TaN) trên từng vi chip.
• Tích hợp hệ thống tự động hóa nạp mẫu Wafer Handler (EFEM): Kết nối trực tiếp với dây chuyền sản xuất bán dẫn tự động hoàn toàn.

3. Thông số kỹ thuật chi tiết FISCHERSCOPE XDV-µ WAFER