Kính hiển vi quét laser 3D Keyence Sê-ri VK-X (VK-X4000 / VK-X3000) là dòng kính hiển vi đo lường bề mặt không tiếp xúc độ chính xác cấp nanomet. Thiết bị tích hợp 3 nguyên lý đo lường tiên tiến: Quét đồng tiêu Laser bước sóng ngắn (Laser Confocal), Đo giao thoa ánh sáng trắng (White Light Interferometry) và Kính hiển vi quang học trường sáng/trường tối (Focus Variation), mang lại khả năng đo đạc độ nhám bề mặt và biên dạng 3D không đối thủ.
| Thông Số Kỹ Thuật | Chi Tiết Giá Trị |
|---|---|
| Nguồn sáng Laser | Laser bán dẫn màu tím (Bước sóng: 404 nm, Cấp an toàn Class 2) |
| Độ phân giải hiển thị trục Z (Chiều cao) | 0.5 nm (0.0005 µm) |
| Độ lặp lại đo chiều cao (Z) | 0.01 µm (với thấu kính 50x) |
| Dải phóng đại hiển thị | 100x đến 28.800x |
| Góc nghiêng đo tối đa | Lên tới 87° đối với bề mặt nhám khuếch tán |
| Hành trình bàn di mẫu X-Y | 100 x 100 mm (Bàn tự động độ chính xác cao) |
| Tiêu chuẩn độ nhám tương thích | ISO 25178, ISO 4287, ISO 13565, JIS B0601 |
| Chức năng phân tích màng | Đo độ dày lớp phủ trong suốt, phân tích độ phẳng Wafer bán dẫn |
Reviews
There are no reviews yet.