Máy Đo Quang Phổ Vi Điểm Micro-XRF FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ
1. Giới thiệu tổng quan FISCHERSCOPE XDV-µ
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ là hệ thống đo quang phổ huỳnh quang tia X vi điểm tối tân (Micro-XRF) sử dụng thấu kính quang học đa mao quản Polycapillary Optics, cho phép hội tụ chùm tia X xuống kích thước siêu nhỏ chỉ 10 ~ 20 micron với cường độ bức xạ cực mạnh.
2. Tính năng công nghệ nổi bật
- Thấu kính đa mao quản Polycapillary X-ray Optics: Hội tụ chùm tia X xuống điểm đo cực nhỏ (FWHM ~ 20 µm) với cường độ chùm tia gấp hàng ngàn lần so với chuẩn trực thông thường.
- Đo các cấu trúc siêu vi trong bán dẫn: Đo độ dày và thành phần trên các chân tiếp xúc Bond Pad, vi mạch IC, Bump mạ và khung dẫn siêu nhỏ.
- Lập bản đồ phân bố nguyên tố 2D/3D (Element Mapping): Quét và hiển thị bản đồ mật độ lớp mạ trên toàn bộ bề mặt vi cấu trúc.
3. Thông số kỹ thuật chi tiết FISCHERSCOPE XDV-µ
| Thông số kỹ thuật | Giá trị tiêu chuẩn (XDV-µ Series) |
|---|---|
| Hệ quang học hội tụ | Polycapillary X-ray Optics (Kích thước điểm tia: 10 ~ 20 µm FWHM) |
| Đầu thu phát hiện | Silicon Drift Detector (SDD 50 mm²), độ phân giải < 130 eV |
| Độ chính xác định vị bàn mẫu | ≤ 1.0 µm (Bàn di chuyển động cơ bước siêu chính xác) |
Ứng dụng: Ngành đóng gói bán dẫn (Semiconductor Packaging), linh kiện vi cơ điện tử MEMS, bo mạch HDI PCB và pin công nghệ cao.
Related products
Reviews
There are no reviews yet.