Hệ Thống Đo Độ Dày Lớp Phủ Siêu Vi Polycapillary Nano Hitachi FT160

1. Giới thiệu tổng quan Hitachi FT160 Series

Hitachi FT160 Series là hệ thống quang phổ huỳnh quang tia X phân tích lớp phủ cao cấp hàng đầu thế giới được trang bị công nghệ hội tụ chùm tia Polycapillary Optics. Thiết bị được chế tạo chuyên biệt cho ngành công nghiệp bán dẫn (Semiconductor), bảng mạch in mật độ cao (High-Density Interconnect PCB) và linh kiện vi điện tử siêu nhỏ.

2. Đặc điểm kỹ thuật đỉnh cao

• Công nghệ thấu kính hội tụ mao quản Polycapillary: Tạo điểm đo cực nhỏ kích thước xuống dưới 30 µm (FWHM) với cường độ chùm tia gấp hàng ngàn lần so với ống chuẩn trực thông thường, cho phép đo chính xác trên các chân chip siêu vi.
• Đo lớp phủ cấp độ Nanomet (Nanometer-level Coatings): Độ nhạy cực cao của đầu dò SDD diện tích lớn giúp đo chuẩn xác các lớp mạ siêu mỏng như Au (vàng), Pd (palađi), Ni, ENIG, ENEPIG trong thời gian siêu ngắn.
• Hệ thống camera kép định vị toàn cảnh & vi mô: Kết hợp camera toàn cảnh (Wide View Camera) và camera phóng đại quang học cao giúp tự động tìm và định vị điểm đo tự động trên bo mạch phức tạp.
• Bàn đo mẫu tự động XYZ có độ chính xác dưới micromet: Lập trình đo hàng trăm điểm tự động trên khay wafer hoặc panel bo mạch PCB hoàn chỉnh.

3. Thông số kỹ thuật Hitachi FT160

4. Ứng dụng thực tế

Kiểm tra độ dày lớp mạ vi mô trong sản xuất chip bán dẫn, đóng gói vi mạch IC (Lead frames / BGA Substrates), bo mạch in điện thoại thông minh HDI PCB và đầu cắm micro-connector.